2024-10-18 10:04:35
AZO透明导电薄膜具有高可见光透过率和低电阻率的特点,因此可以作为平面显示器和太阳能平面电极材料,也可用在节能方面,如建筑玻璃表面和汽车玻璃表面近年来,随着液晶显示、触控面板、有机发光显示、太阳能电池等的发展,使得透明导电薄膜成为关键性材料之一。目前,常用的锡掺杂氧化钢(ITO)透明导电薄膜材料中的金属铟属于稀缺资源,开发具有透光、导电特性的“非铟”材料已成为研究的热点之一。由于氧化锌基(ZnO)透明导电薄膜价格较为低廉,且不具毒性,在发展上具有相当的优异性。因此,对于氧化锌薄膜材料及其制备技术的研发,引起了大家的重视。AZO薄膜是一种透明导电膜,具有与ITO薄膜相比拟的光学和电学特性,并具有制备工艺简单、价格低、无毒和稳定性好等特点,被认为是ITO薄膜的比较好替代材料。靶材主要用于生成太阳能薄膜电池的背电极,晶体硅太阳能电池较少用到溅射靶材。浙江氧化锌陶瓷靶材市场价
靶材开裂影响因素裂纹形成通常发生在陶瓷溅射靶材(如氧化物、碳化物、氮化物等)和脆性材料溅射靶材(如铬、锑、铋等)中。陶瓷或脆性材料目标始终包含固有应力。这些内应力是在靶材制造过程中产生的。此外,这些应力不能通过退火过程完全消除,因为它是这些材料的固有特性。在溅射过程中,轰击的气体离子将其动量传递给目标原子,为它们提供足够的能量来脱离晶格。这种放热动量传递增加了目标的温度,在原子水平上可能达到1,000,000摄氏度。这些热冲击将目标中已经存在的内部应力增加到许多倍。在这种情况下,如果不注意适当的散热,靶材可能会开裂。靶材开裂预防措施为了防止靶材开裂,重要的考虑因素是散热。一方面运用水冷机制来去除靶材中不需要的热能,另一方面考虑提高功率,在很短的时间内提升功率也会给目标带来热冲击。此外,建议将这些靶材绑定到背板上,这不仅为靶材提供支撑,而且还促进靶材与水之间更好的热交换。如果靶材破裂有背板加持的情况下,它仍然可以毫无问题地使用。广东氧化锌陶瓷靶材如何制成良好的陶瓷靶材也是需要注意的地方。
薄膜晶体管液晶显示器(英语:Thin film transistor liquid crystal display,常简称为TFT-LCD)是多数液晶显示器的一种,它使用薄膜晶体管技术改善影象品质。虽然TFT-LCD被统称为LCD,不过它是种主动式矩阵LCD,被应用在电视、平面显示器及投影机上。简单说,TFT-LCD面板可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶,上层的玻璃基板是彩色滤光片、而下层的玻璃则有晶体管镶嵌于上。当电流通过晶体管产生电场变化,造成液晶分子偏转,藉以改变光线的偏极性,再利用偏光片决定像素的明暗状态。此外,上层玻璃因与彩色滤光片贴合,形成每个像素各包含红蓝绿三颜色,这些发出红蓝绿色彩的像素便构成了面板上的视频画面。
镀膜的主要工艺有PVD和化学气相沉积(CVD)。(1)PVD技术是目前主流镀膜方法,其中的溅射工艺在半导体、显示面板应用广。PVD技术分为真空蒸镀法、溅镀法和离子镀法。三种方法各有优劣势:真空蒸镀法对于基板材质没有限制;溅镀法薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜好;离子镀法的绕镀能力强,清洗过程简化,但在高功率下影响镀膜质量。不同方法的选择主要取决于产品用途与应用场景。(2)CVD技术主要通过化学反应生成薄膜。在高温下把含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质引入反应室,在衬底表面上进行化学反应生成薄膜。从整体上看,ITO在光电综合性能上高于AZO靶材,但AZO靶材的优势或将为靶材带来降本空间。
主要PVD方法的特点:半导体、显示面板使用溅射镀膜法(1)金属提纯:靶材纯度要求高。金属提纯的主要方式有化学提纯与物理提纯,化学提纯主要分为湿法提纯与火法提纯,通过电解、热分解等方式析出主金属。物理提纯则是通过蒸发结晶、电迁移、真空熔融法等步骤提纯得到主金属。(2)制造加工:塑性变形、热处理、控制晶粒取向:需要根据下游应用领域的性能需求进行工艺设计,然后进行反复的塑性变形、热处理,需要精确地控制晶粒、晶向等关键指标,再经过焊接、机械加工、清洗干燥、真空包装等工序。靶材制造涉及的工序精细繁多,技术门槛高、设备投资大,具有规模化生产能力的企业数量相对较少。靶材制造的方法主要有熔炼法与粉末冶金法。熔炼法主要有真空感应熔炼、真空电弧熔炼、真空电子束熔炼等方法,通过机械加工将熔炼后的铸锭制备成靶材,该方法得到的靶材杂质含量低、密度高、可大型化、内部无气孔,但若两种合金熔点、密度差异较大则无法形成均匀合金靶材。粉末冶金法主要有热等静压法、热压法、冷压-烧结法三种方法,通过将各种原料粉混合再烧结成形的方式得到靶材,该方法优点是靶材成分较为均匀、机械性能好,缺点为含氧量较高。通常靶材变黑引起中毒的因素靶材中毒主要受反应气体和溅射气体比例的影响。吉林溅射陶瓷靶材价钱
ITO靶材是将氧化铟和氧化锡粉末按比例混合后经过生产加工成型,再高温气氛烧结形成的黑灰色陶瓷半导体。浙江氧化锌陶瓷靶材市场价
江苏迪纳科精细材料股份有限公司是一家主要生产和销售陶瓷,金属,合金等各类型靶材。陶瓷靶材以氧化铟基和氧化锌基为主,金属和合金靶材以各种熔炼工艺和挤压锻造工艺为主。ITO靶材应用领域1、平板显示器(纯度4N)在平板显示领域,ITO靶材主要用于制作ITO导电玻璃及触控屏电极平板,是LCD、PDP、OLED、触摸屏等各类平板显示器件制备的主要材料。显示面板一般涉及上下两层ITO导电膜,用量较大,ITO靶材是平板显示领域用量比较大的靶材之一。2、薄膜太阳能电池(纯度4N)ITO是一种透明导电层,在太阳能电池中作为透光层,同时作为电极,一般为正极,另一个电极一般以金属银或铝作为背电极使用。ITO靶材主要用于生成太阳能薄膜电池的背电极。3、保温透光领域ITO透明导电膜玻璃作为发热体,通电后可以除冰霜,用于飞机挡风玻璃、飞机防眩窗、激光测距仪、潜望镜观察窗等多年来已得到了大规模的应用。ITO透明导电膜玻璃正反面具有相反的红外线通过及反射性能,玻璃正面具有优良的红外线通性,衰减量极小,而反面又具有红外线阻挡反射作用,因而该种玻璃具有优良的保温透光性能,已大量用于制造冷藏柜,随着成本的降低将有望用于房屋节能。浙江氧化锌陶瓷靶材市场价